供給装置

Name: 益満設備工業株式会社
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薬液供給装置

材質	硬質塩化ビニール
特徴	・酸、アルカリ各種の薬液に対応いたします。・各種インターロックを装備していますので、安全に薬液タンク交換ができます。・内外装共、硬質塩化ビニール製、耐酸、アルカリ構造です。・薬液タンクサイズ、最大25Lタンクまで収納可能です。
各部名称	①本体　②薬液タンク保管室　③コンベアー　④供給ポンプ室（ダイヤフラムポンプ）　⑤操作パネル　⑥排気口　⑦レベルアジャスター　⑧キャスター

材質	硬質塩化ビニール（酸用）・SUS304（有機用）
特徴	・本装置は供給側の要求信号を受け、伽煮スターによりN2圧送する装置です。・出口側には、カートリッジフィルターを装備しております。・各種インターロックを装備していますので、安全に薬液供給、タンク交換ができます。・材質は酸用が硬質塩化ビニール、有機用がSUS304で、有機用は、各種防火対策を施しております。
各部名称	①本体　②薬液タンク保管室　③キャニスター台車　④上部電装BOX　⑤操作パネル　⑥排気口（有機溶剤の場合は、防火ダンパー付）　⑦ドレインパン　⑧キャスター　⑨アジャスター

構造	石英ラインヒーター
特徴	・本装置は、主に半導体装置に使用する付属機器で、純水を過熱する装置です。・常温から最大25℃の上昇を行い、大流量を可能としております。・特殊な発熱体を使用しておりますので、数秒で温度が立上ります。・接液部は、耐熱仕様、メタルフリーで構成されていますので、金属イオンの発生もありません。
各部名称	①本体　②石英コイルラインヒーター　③電装BOX　④各種操作スイッチ　⑤ドレインパン

構造	逆浸透膜方式
特徴	・本装置は、原水（市水）中に含まれる不純物を取り除き、比抵抗値を2MΩ･cm以上の純度まで脱イオン化すると同時に、フィルターにより0.22μm以上の微粒子、微粒子、微生物を極限まで除去した純水を製造します。・製造後の純水はタンクに貯水し、ループ配管にてUV殺菌など、イオン交換装置にて純度を上げ、最終フィルターにてユースポイントへ送水されます。・純水タンクは、冷却装置を備えておりますので、一定の温度を保ちバクテリアなどの増殖を抑えます。
各部名称	①プレフィルター　②軟水器　③活性炭フィルター　④RO（逆浸透装置）　⑤純水タンク　⑥UV殺菌灯　⑦イオン交換装置　⑧ファイナルフィルター　⑨エアベントフィルター

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