洗浄装置
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12” ウエーハエッチング装置
| 材質 | 硬質塩化ビニール |
|---|---|
| 構造 | ウェット式・半自動方式 |
| 特徴 | ・本装置は、Siウエーハのエッチング装置です。 ・装置天井部に搬送ロボットを備えておりますので、作業者が直接キャリアを直接搬送せずに処理できます。 ・有害なガスを放出させない、排気機造です。 |
| 各部名称 | ①本体 ②ロード ③処理槽 ④アンロード ⑤ウェハーキャリア ⑥ロボットハンド ⑦遠隔操作スイッチ ⑧搬送ロボット ⑨給気口 ⑩排気口 |
6”ウエーハエッチング装置
| 材質 | 硬質塩化ビニール |
|---|---|
| 構造 | ウェット式・手動方式 |
| 特徴 | ・本装置は、手動式、Siウエーハのエッチング装置です。 ・内外装共、硬質塩化ビニール製、耐酸構造です。 ・有害なガスを放出させない給、排気構造です。 ・各種薬液の計量、秤量機能を備えております。 ・エッチング後の残留固形物などを取り除くバッファタンクと、廃液ポンプを備え、自動にて廃液を行います。 |
| 各部名称 | ①本体 ②作業台（流し構造） ③リンス槽（カスケード構造） ④エッチング槽 ⑤薬液調合タンク ⑥薬品ボトル棚 ⑦薬液計量タンク ⑧ウォーターガン ⑨廃液バッファタンク ⑩廃液ポンプ ⑪排気口 ⑫操作パネル |
ウエーハ洗浄槽
振動無し
振動有り
| 材質 | 硬質塩化ビニール |
|---|---|
| 構造 | ウェット式・超音波洗浄・振動機構付 |
| 特徴 | ・本装置は、振動機構と超音波洗浄による洗浄槽です。振動スピードコントロール付 ・ふたつの洗浄槽を備え、単独運転が行えます。 ・本体は内外装共、硬質塩化ビニール製です。 ・洗浄液は主に、純水、アルカリ系とし、ポンプ、フィルターによりオーバーフロー循環も可能です。 |
| 各部名称 | ①本体 ②超音波槽（2台） □250×250Hnn（材質:ステンレス） ③揺動アーム（専用バスケット付） ④超音波発振器2台（26KHｚ-600W-SWEEP） ⑤操作パネル |
ガラス板 洗浄装置
| 材質 | 硬質塩化ビニール |
|---|---|
| 構造 | ウェット式・枚葉洗浄 |
| 特徴 | ・本装置は、自動にてガラス板を洗浄する装置です。 ・内外装共硬質塩化ビニール製です。 ・FFUを装備しておりますので、クリーンな環境で洗浄が可能です。 |
| 洗浄フロー | ロード→UV照射→水中保管→ブラシ洗浄1→ブラシ洗浄2→リンス洗浄→スピンドライヤー→アンロード |
| 各部名称 | ①本体 ②ロード ③UV照射槽 ④水中保管ローダー ⑤ブラシ洗浄1 ⑥ブラシ洗浄2 ⑦リンス槽 ⑧スピンドライヤー ⑨搬送ロボット ⑩ワークチャッキング用エアハンド ⑪FFU ⑫蛍光灯 ⑬操作パネル |
大型治具洗浄機
| 材質 | 硬質塩化ビニール |
|---|---|
| 構造 | 浸漬型（2槽仕様）・超音波洗浄 |
| 特徴 | ・本装置は、大型散治具、パネルなどの洗浄に適しています。 ・洗浄は2槽構造からなり、超音波、温水にて行います。 ・循環機能とフィルタリングにより節水。 ・超音波槽、温水槽ともに振動機能付。 |
| 洗浄物サイズ | 500W×700D×700H（各サイズ洗浄可能です） |
| 洗浄物重量 | Max.50Kg |
| 各部名称 | ①本体 ②前面作業扉 ③操作パネル ④蛍光灯 ⑤洗浄カゴ ⑥洗浄槽（2槽） ⑦搬送ロボット ⑧排気ファン |
縦型石英洗浄機
| 材質 | 硬質塩化ビニール |
|---|---|
| 構造 | ターンテーブル型・内面洗浄ジェット洗浄循環型 |
| 特徴 | ・本装置は、炉芯管をクリーンな環境で自動洗浄を目的とした装置です。 ・本装置はターンテーブル機構、内面洗浄ジェット、回転式、その他専用ノズルにより、洗浄むらがありません。 ・搬送と洗浄の兼用ができる台車、電動リフター付台車にて作業性も向上します。 ・内外装共、硬質塩化ビニール製、機械部その他、耐酸構造です。 ・洗浄フローは格レシピ設定が可能ですので、各用途サイズに合わせて変更可能です。 |
| 洗浄物サイズ | Max.φ425×1700H（各サイズ洗浄可能です） |
| 各部名称 | ①本体 ②観音扉 ③回転シャッター ④ターンテーブル ⑤蛍光灯 ⑥外気取り入れ口 ⑦洗浄用台車 ⑧電動リフター付台車 ⑨回転ノズル ⑩タッチパネル ⑪排気口 ⑫洗浄物 |
横型炉芯管洗浄機
| 材質 | 硬質塩化ビニール |
|---|---|
| 構造 | 浸漬型（2槽仕様）・内面洗浄ジェット洗浄循環型 |
| 特徴 | ・本装置は、炉芯管をクリーンな環境で自動洗浄を目的とした装置です。また、専用バスケットにより各種治具を洗浄することも可能です。 ・本装置は浸漬槽（リンス、薬液）の構成で、内面洗浄ジェット、その他専用ノズルにより洗浄むらがありません。 ・内外装共、硬質塩化ビニール製、機械部その他、耐酸構造です。 ・洗浄フローは各レシピ設定が可能ですので、各用途、各サイズに合わせて変更可能です。 |
| 洗浄物サイズ | Max.φ500×1800L（各サイズ洗浄可能です） |
| 各部名称 | ①本体 ②自動上下シャッター ③帯電防止カーテン ④フィルターユニット ⑤搬送ロボット ⑥リンス槽（ジェットノズル付） ⑦薬液槽（ジェットノズル付） ⑧外気取り入れ口 ⑨ポンプ室 ⑩タッチパネル ⑪上部配管室 ⑫洗浄物 ⑬排気口（モーター駆動） |
スピン洗浄ドライヤー
| 材質 | ステンレスまたは硬質塩化ビニール |
|---|---|
| 特徴 | ・本品は、各サイズのウエーハを自動にてリンス、スピン乾燥することが可能です。 ・処理方法は枚葉式で、開発、評価に最適です。 ・各種薬液にも対応可能です。 ・テーブル回転速度は最大2160rpmにて短時間に乾燥します。 |
| 動作 | 低速にてリンス洗浄→高速にてスピン乾燥 |
| 各部名称 | ①本体 ②ターンテーブル ③透明窓 ④ウエーハ（各サイズセット可能） ⑤上下洗浄ノズル ⑥自動開閉蓋 ⑦操作スイッチ |
FFU付 スピン洗浄ドライヤー
| 材質 | ステンレスまたは硬質塩化ビニール |
|---|---|
| 特徴 | ・本品は、各サイズのウエーハを自動にてリンス、スピン乾燥することが可能です。 ・処理方法は枚葉式で、開発、評価に最適です。 ・各種薬液にも対応可能です。 ・テーブル回転速度は最大2160rpmにて短時間に乾燥します。 ・天井部にFFUを搭載しておりますので、クリーンな環境で作業が行えます。 |
| 動作 | 低速にてリンス洗浄→高速にてスピン乾燥 |
| 各部名称 | ①本体 ②ターンテーブル ③透明窓 ④ウエーハ（各サイズセット可能） ⑤上下洗浄ノズル ⑥自動開閉蓋 ⑦操作スイッチ ⑧FFU ⑨外周、帯電防止ビニールまたはPVCパネル張り |
自動ウエーハエッチング装置
| 材質 | 硬質塩化ビニール |
|---|---|
| 構造 | ウェット式・バッチ処理・揺動洗浄 |
| 特徴 | ・本装置は自動にてウエーハのエッチングを行う装置です。 ・内外装共、硬質塩化ビニール製、耐酸構造です。 ・有害なガスを放出させない給、排気構造です。 ・各種薬液の計量、秤量機能を備えております。 ・薬液槽は循環濾過、温調機能を備えております。 ・最終リンス槽には、比抵抗値測定により、洗浄制度を向上させております。 |
| 各部名称 | ①本体 ②ロード、アンロード ③薬液槽1（オーバーフロー循環） ④リンス槽1 ⑤薬液槽2（オーバーフロー循環） ⑥薬液槽3 ⑦リンス槽2 ⑧薬液供給ユニット ⑨搬送ロボット ⑩蛍光灯 ⑪操作パネル ⑫パトライト ⑬カセットチャッキングアーム ⑭薬液原液タンク ⑮排気口 |
12”ウエーハエッチング装置
| 材質 | 硬質塩化ビニール |
|---|---|
| 構造 | ウェット式・手動方式 |
| 特徴 | ・本装置は、Siウエーハのエッチング装置です。 ・有害なガスを放出させない給、排気機造です。 |
| 各部名称 | ①本体 ②ロード ③処理槽 ④アンロード ⑤ウェハーキャリア ⑥給気口 ⑦排気口 |
石英部品洗浄機
| 材質 | 硬質塩化ビニール |
|---|---|
| 構造 | 薬液循環洗浄・リンス洗浄 |
| 特徴 | ・本装置は、各種石英部品をクリーンな環境で、洗浄を目的とした装置です。 ・また各種石英を洗浄することが可能です。 ・本装置は、薬液槽、リンス槽の構成で、薬液槽は循環槽を装備し、洗浄液作製機能も装備しております。 ・内外装共、硬質塩化ビニール製、機械部その他耐酸構造です。 ・リフターを装備しておりますので、安全に洗浄することが可能です。 |
| 各部名称 | ①本体 ②上下シャッター ③フィルターユニット ④洗浄槽（2槽）・薬液槽/リンス槽 ⑤リフター（2台） ⑥アーム（各種石英対応） ⑦薬液タンクユニット ⑧薬液循環槽 |
基板エッチング装置
| 材質 | 硬質塩化ビニール |
|---|---|
| 構造 | 振動十回転洗浄方式 |
| 特徴 | ・本装置は、基板のエッチング装置です。カセットに収めた基板を搬送ロボットにより、各処理槽に搬送し洗浄を行います。 ・洗浄は、カセットを揺動、回転により洗浄効率を高めております。 |
| 各部名称 | ①本体 ②薬液槽（パイレックス）温調機能付 ③リンス槽1（PVC） ④リンス槽2（PVC） ⑤ローダー ⑥搬送ロボット ⑦基板カセット収納アーム（揺動、回転機能付） ⑧蛍光灯 ⑨前面引戸 ⑩操作パネル ⑪排気口 |
大型部材エッチング装置
| 材質 | 硬質塩化ビニール |
|---|---|
| 構造 | ウェット式・バッチ方式 |
| 特徴 | ・本装置は、自動大型部材エッチング装置です。 ・内外装共硬質塩化ビニール製、耐酸構造ですので、各種薬液に対応できます。 ・有害なガスを放出させない排気構造です。 ・収納総重量は、最大60kgまで可能です。 |
| バスケットサイズ | 内寸460（W）×710（D）×545（H） |
| 各部名称 | ①本体 ②洗浄バスケット ③搬送ロボット ④ローダー ⑤薬液槽 ⑥リンス槽1 ⑦リンス層2 ⑧超音波槽 ⑨最終リンス槽 ⑩水中保管槽 ⑪流し台 ⑫蛍光灯 ⑬排気口 |
ウエーハ洗浄機
| 材質 | 硬質塩化ビニール |
|---|---|
| 構造 | 循環洗浄・シャワー洗浄 |
| 特徴 | ・本装置は、ウエーハを手動で洗浄する装置です。 ・洗浄槽は循環槽（超音波、フィルターユニット付）、シャワー槽の構成で、循環洗浄に関しましては、各種薬液に応じて対応いたします。 |
| 各部名称 | ①本体 ②シャワー槽 ③循環槽（超音波付）オーバーフロー循環 ④循環フィルターユニット ⑤超音波発信器 ⑥操作パネル ⑦排気フード |
酸スクラバー
| 材質 | 硬質塩化ビニール |
|---|---|
| 特徴 | ・本品は工場、研究所などから発生する有毒ガスを洗浄する装置です。 ・洗浄後は無害なガスで大気開放させます。 ・酸性、アルカリ性、複合ガスなど核使用にて制作可能です。 ・メンテナンスは、中和液の点検のみで連続して運転可能です。 ・処理風量10～400m3/min |
| 各部名称 | ①ターボファン ②中和液槽 ③洗浄監視窓 ④反応フィルター ⑤洗浄ノズル ⑥ミストキャッチャー ⑦ベンチレーター |
プレート洗浄機
| 材質 | 硬質塩化ビニール・ステンレス槽 |
|---|---|
| 構造 | 浸漬型（2槽仕様）・超音波洗浄 |
| 特徴 | ・本装置は、セラミックプレートの洗浄機です。 ・洗浄は2槽構造からなり、リンス薬液槽の構成で、超音波付です。 ・専用台車と洗浄カゴにより作業性が向上します。 |
| 洗浄物サイズ | Max.φ485×17t-4枚可能 |
| 洗浄物重量 | Max.60kg |
| 各部名称 | ①本体 ②台車収納口 ③操作パネル ④蛍光灯 ⑤洗浄カゴ ⑥搬送台車 ⑦洗浄槽（2槽） ⑧搬送ロボット |
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